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 ディスプレー製造装置メーカーのブイ・テクノロジーが、現在開発中の、10.5世代のディスプレーパネル生産用のフォトマスク描画装置について、「第28回 液晶・有機EL・センサ技術展(ファインテックジャパン)」(2018年12月5~7日、幕張メッセ)でビデオ映像などを用いて紹介した。特徴は、描画速度を2倍にし、描画時間を半減すること。同社は2019年度の売り上げを目指している。

 フォトマスクは、画素やTFT(薄膜トランジスタ)などの微細パターンが刻まれた原版である。この微細パターンをガラス基板に転写することで、液晶パネルや有機ELパネルを製造する。大型テレビ用の液晶の場合、1枚のパネルを作るのに5~6枚のフォトマスクを使う。

 10.5世代のパネル工場の稼働は今後も中国で相次ぐ予定であり、大型フォトマスク需要の拡大が予想される。フォトマスク工場への設備投資も継続的に行われる見込みであり、ブイ・テクノロジーによると、「主要な設備投資が5~7件、計画中の設備投資が3~5件程度ある」という。

10.5世代パネル用フォトマスク描画装置「Pegasus」
10.5世代パネル用フォトマスク描画装置「Pegasus」
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