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 振動の試験・発生などの事業を手掛けるIMVは、既存の機械式並みの仕様・精度で価格を大幅に抑えられる振動センサーを開発した(図1)。米アナログ・デバイセズ(Analog Devices、ADI)のMEMS(微小電子機械システム)加速度センサーを使う。工場設備や動力装置などの診断や故障予知が、低コストで実現できるようになる。多点計測もしやすくなる。

図1 MEMS式振動センサーの開発品「VP-8021A」
図1 MEMS式振動センサーの開発品「VP-8021A」
入出力は、産業用計測器の標準インターフェース「IEPE」に対応している。搭載している加速度センサーは、ADIの1軸品「ADXL1002」。加速度に対する感度、周波数に対するノイズ、温度に対する感度の変動が、同製品では少ないために、高精度化しやすいという。(写真:IMV)
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 IMVは、振動解析で工場設備などを診断する事業を展開している。IoT(Internet of Things)機器やAI(人工知能)システムの普及で設備診断の顧客層が広がっているとみて、顧客自身が安価に設置可能な振動センサーの開発を2013年ごろからADIと進めてきた。ADIは、産業用の高精度で高信頼が要求されるMEMSセンサーに強みを持つ。