2020年10月20日16時40分ごろ、旭化成のグループ会社である旭化成マイクロシステム(東京・千代田)の生産センター第二製造部半導体工場(宮崎県延岡市)で火災事故が発生した。5階建ての工場のうち3〜5階が焼損。3、4階にあったクリーンルーム内の生産装置と付帯設備が焼け、生産が止まった。けが人はなかった。事故の調査結果から火災の原因として、接触不良や半断線による発熱・発火の可能性が浮かび上がった。
火災発生時、旭化成マイクロシステムの生産センター第二製造部半導体工場内にいた4人の従業員が出火を確認。従業員が通報した10分後には市の消防隊が現地に到着し、消火に当たった。しかし、火の勢いは激しく、鎮火宣言が出されたのは10月24日12時25分。出火が確認されてから約92時間が経過していた。
製造棟4階で出火後、5階にも延焼。広範囲にわたって焼損した。5階の屋根は一部が崩落し、消火水や雨水などによって階下が水損。3階の床下エリアには、4階クリーンルームにあった設備などが落下した。2階クリーンルームと1階クリーンルーム床下エリアには延焼しなかったが、消火水や雨水などによる水損が発生した。被害は極めて大きく、工場は21年10月末時点でも停止中だ。同時点では建屋の再利用を含めて、復旧の見通しが立っていない。
旭化成と旭化成エレクトロニクス*1は火災発生後、20年11月6日に事故調査委員会と事故対策委員会を、21年2月4日に事故調査部会を設置。事故現場の検証をはじめ、各種実験データや解析結果、記録類を含む関係書類や証言を検証し、火災事故の原因究明と再発防止策の検討を進めた。その調査結果を21年9月14日、「旭化成エレクトロニクス生産センター第二製造部半導体製造工場火災事故調査報告書」(以下、報告書)としてまとめた。