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 先端半導体製造に欠かせないEUV(極端紫外線)露光装置の生産で、世界市場をほぼ独占するオランダASML。そんな同社が韓国に新たな拠点を設けた。ASMLにとっては初の海外への大型投資だ。韓国では、米国による中国に対する半導体制裁により中国から撤退する企業が増えるなか、半導体製造の中心が韓国へと移動することを期待している。韓国は漁夫の利を得ることができるのか。

先端半導体の製造に欠かせないオランダASMLのEUV露光装置
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先端半導体の製造に欠かせないオランダASMLのEUV露光装置
(出所:ASML)

 ASMLは2022年11月16日(現地時間)、韓国Samsung Electronics(サムスン電子)の工場がある韓国・華城(ファソン)で、新たな半導体拠点「ニューキャンパス」の起工式を実施した。ASMLの韓国のニューキャンパスは、面積7万3000平方メートルの広さを誇る。EUV露光装置の維持補修と部品を再利用する「再製造センター」や、半導体人材育成のための「トレーニングセンター」などが入る場所だ。同社は2400億ウォン(約248億円)を投資した。2024年12月に入居予定である。ASMLが海外で大型投資をするのはこれが初めてだ。

 今やASMLは世界でほぼ唯一、先端半導体の製造に欠かせないEUV露光装置を製造するメーカーだ。EUV露光装置は年間50台ほどしか生産できない。世界の半導体メーカーが1台でも多くEUV露光装置を確保しようと「ASML詣で」を重ねている。

 ASMLのニューキャンパスが完成すると、韓国内でEUV露光装置の維持管理がしやすくなる。修理のため装置をオランダにあるASMLの本社まで送る必要がなくなる。ASMLが半導体製造装置の部品を韓国内で調達する可能性もある。韓国の半導体産業の競争力が一段とアップするという期待もある。

 同社CEO(最高経営責任者)であるピーター・ベニンク氏は、ニューキャンパスの起工式のために韓国を訪問した。同氏は記者会見で「韓国は先端技術を保有する協力会社が多く、シナジー効果は大きい」「ニューキャンパスは知識移転の始まり。知識移転に5年から10年はかかるため、再製造センターを皮切りに韓国でR&D基盤を拡充していければ、韓国に製造ラインを作る可能性もある」などと語った。

 景気後退にもかかわらずASMLは、自動運転やクラウドコンピューティング、人工知能(AI)の成長によって2030年まで半導体市場が急速な拡大を続けるとみる。それに伴って、EUV露光装置の需要も伸び続けるとする。ただし米国による中国制裁によって、米国産部品を使う半導体製造装置の中国向け販売が規制されるなか、ASMLもある程度影響を受ける可能性がある。

 2022年11月17日には、韓国とオランダの首脳会談もソウルで開催された。両国は半導体の協力関係を強化することで合意し、サムスン電子会長のイ・ジェヨン氏や韓国SKグループ会長のチェ・テウォン氏、ASML CEOのベニンク氏も、韓国の尹錫悦(ユン・ソンニョル)大統領と面会し、安定的な半導体供給網管理のため政府と民間の協力方策について意見交換した。

 ASMLにとって、先端半導体を製造するサムスン電子や韓国SK Hynix(SKハイニックス)を抱える韓国はお得意様だ。この両社に対し、ASMLはEUV露光装置を含む半導体装置を1000台以上納品しており、これは同社の売上高の約3割を占めている。

 サムスン電子はファウンドリーだけでなくメモリー製造にもEUV露光装置を導入するとみられる。会長のイ・ジェヨン氏自らがオランダのASML本社を訪問し、装置確保に動いている。

 超微細工程の量産に対応するASMLの次世代EUV露光装置は、1台3億〜3億5000万ユーロ(430億〜500億円)と非常に高価だ。2024年出荷予定であるものの既に契約が殺到しており、サムスン電子とSKハイニックスに納品されるのは2026年ごろになるとみられている。もっともASMLが韓国に拠点を持つことで、サムスン電子やSKハイニックスと物理的な距離が近くなり、装置確保に有利になるという分析もある。