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 韓国Samsung Electronics(サムスン電子)は、EUV(超短波長光)露光を5層に適用する14nm世代プロセスを使って、DDR5型DRAM ICの量産を始めたと2021年10月12日に発表した。同社はプロセス表記を従来のスタイル(D1x/D1y/D1z/D1a)から数字に切り替えている。今回の14nm世代プロセスは、従来表記ではD1aに当たる。

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