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　韓国Samsung Electronics（サムスン電子）は、EUV（超短波長光）露光を5層に適用する14nm世代プロセスを使って、DDR5型DRAM ICの量産を始めたと2021年10月12日に発表した。同社はプロセス表記を従来のスタイル（D1x／D1y／D1z／D1a）から数字に切り替えている。今回の14nm世代プロセスは、従来表記ではD1aに当たる。

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