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 「EUV(極端紫外線)露光装置は2024年末に導入できる見込みだ」――。記者陣の人だかりに囲まれながら、半導体新企業ラピダス代表取締役社長に就いた小池淳義氏はこう明かした。EUV露光装置の導入は日本としては初となる。

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