全795文字
PR

 「日本への研究開発拠点の設立を検討している」。こう明かしたのは、ベルギーの研究機関imec CEO(最高経営責任者)のLuc Van den hove氏だ。

 2022年12月9日に開催された、半導体製造装置大手SCREENホールディングスの事業会社であるSCREENセミコンダクターソリューションズとimecの協業会見で語った()。imecは世界最大級の半導体研究機関。同年12月6日には最先端半導体の製造を目指す新企業Rapidus(ラピダス、東京・千代田)と長期的な協業に向けて合意している。imecはラピダスのようなパートナー企業や日本の大学などの研究機関と「さらに協力していく」(Van den hove氏)ため、日本への研究拠点設立に向けて協議を進める。

図 SCREENセミコンダクターソリューションズとの協業会見で語った
[画像のクリックで拡大表示]
図 SCREENセミコンダクターソリューションズとの協業会見で語った
写真左に映るのがimec CEO(最高経営責任者)のLuc Van den hove氏。右がSCREENセミコンダクターソリューションズ 代表取締役 社長執行役員の後藤正人氏(写真:日経クロステック)

 imecはオランダASML Holding(ASML)と最先端プロセス半導体の製造に欠かせない高NA(開口数)EUV(極端紫外線)露光装置の実用化を開発中。また、GAA(Gate All Around)のような新しいゲート構造や3次元(3D)実装などの研究にも取り組む。ラピダスや政府が主導して設立する新研究基盤LSTC(Leading-edge Semiconductor Technology Center)が目指す2nm世代プロセス以下の半導体製造には欠かせない存在である。