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 太陽誘電は、GaN(窒化ガリウム)パワーデバイスやSiC(炭化ケイ素)パワーデバイスなどに向けたパッケージ技術「POL(Power Overlay」を開発し、2018年10月16日〜19日に開催された「CEATEC JAPAN 2018」で展示した。POLは、元々米General Electric(GE)社が開発したパッケージング技術である。太陽誘電は、2014年末にGEベンチャーズから知的財産権のライセンスを受けて、パワーデバイスなどに向けたPOLをGEと共同で開発してきた。POLは、スイッチング素子やダイオード、受動部品などをポリイミドの上に配置し、接着剤を使って固定する。その後、ポリイミドの裏面から貫通孔を設けて、そこにCu(銅)めっきを流し込むことで部品間を接続する。めっき厚は100μm程度、配線のライン&スペースは200μm程度が可能だ。そのため、10A程度の電流を流せるという。IoTや産業機器、ロボット、自動車などの用途に向ける。

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