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熱画像を撮像するサーモグラフィー(温度計測機能を持ったもの)と熱線暗視装置の用途が拡大し、遠赤外線イメージセンサーの需要は拡大基調にある。今回、増産に対応するためセンサー製造を外注する動きと、外注化と低コスト化を促す真空パッケージングについて解説する。カギを握るのは、半導体前工程によるウエハーレベルパッケージングだ。(本誌)

 今回は、非冷却の遠赤外線イメージングセンサー(以下、赤外線センサー)のウエハーの生産体制と真空パッケージング工程について解説する。