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 牧野フライス製作所は、超短パルスレーザー加工機「LUMINIZER(ルミナイザー) LF400」を発売した(図1)。フェムト秒レーザーを採用し、μmオーダーの微小形状の加工に向く。半導体製造装置や医療機器分野などの部品加工を想定する。価格は装置構成で異なり、「1台当たり約1億円以上」(同社)。年間10台の販売を目指す。

図1 LUMINIZER LF400
図1 LUMINIZER LF400
超短パルスレーザー加工機。最大ワークサイズは幅450×奥行き450×高さ200mm。(写真:日経ものづくり)
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