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 東芝は、ラインセンサーで製品表面の微小欠陥を検出する光学検査技術「OneShotBRDF」を開発した()。ロールフィルムやコンベヤで搬送する薄物製品や円筒形製品など、生産ラインのインライン検査に向く。最大7m/sで移動する製品表面を監視しながら、深さ1μmほどの欠陥をリアルタイムに判別できる。欠陥の有無だけでなく、傷の深さも推定できる。製品化の時期は未定。

図 光学検査技術「OneShotBRDF」
図 光学検査技術「OneShotBRDF」
製品表面の欠陥を「線」で監視する。(画像:東芝)
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