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　OKIとKRYSTAL（山口県宇部市）は2022年8月17日、圧電効果の高い物質の単結晶薄膜をLSIの材料に接着剤なしで張った「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」を試作し、これを使った超音波センサーが従来の24倍の感度を得たと発表した。

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