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 伊仏合弁STMicroelectronics(STマイクロ)社は、防水性を備えたMEMS圧力センサー「LPS33W」を発売した(ニュースリリース)。防水規格である「IPX8」に準拠する。水のほか、海水、塩素、臭素、ハンドソープやシャンプーなどの洗剤、n-ペンタンなどの光学材料などに対する耐性も備える。絶対圧力を測定可能で、その測定範囲は260h〜1260hPaである。圧力測定のほか、気圧測定や高度測定にも使える。具体的な用途として、ウエアラブル機器やフィットネストラッカー、携帯型GPS端末、掃除機、天候/気候測定用機器、電子タバコなどを挙げている。

防水性を備えたMEMS圧力センサー
防水性を備えたMEMS圧力センサー
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 A-D変換器や信号調整用DSPなどを集積したASICと、圧電抵抗を使った圧力検出素子を作り込んだMEMSチップを積層した。それらの上を円筒状の金属筐体で覆い、筐体の内部に粘性がある同社独自のゲルをポッティングする(注入する)ことで防水性を確保した。

内部構成
内部構成
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 測定分解能は24ビット。測定感度は4096LSB/hPa(標準値)。絶対誤差は±3hPa(360h〜1260hPa、0〜+65℃における標準値)。RMS雑音は0.008hPaRMS(標準値)。出力データレートは、1Hz、10Hz、25Hz、50Hz、75Hzの中から選択できる。温度センサーを内蔵した。温度検出の分解能は16ビット。感度は100LSB/℃(標準値)。このほか1280ビットのFIFOメモリー、低域通過フィルターやI2C/SPIデジタルインターフェースなどを搭載した。

 電源電圧範囲は+1.7〜3.6V。消費電流は3μA(標準値)。パッケージは、外形寸法が3.3mm×3.3mm×2.9mmの10端子LGA(円筒状の金属筐体を含む)。動作温度範囲は−40〜+85℃である。すでに量産を始めている。1000個購入時の米国での参考単価は3.60米ドルである。