PR

 ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)の生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングの那珂工場(茨城県ひたちなか市)で火災が発生、直径300mmの半導体ウエハーの生産ライン(以下、300mmライン)が稼働を停止した。出火原因は不明。生産再開のめどはたっていない。自動車メーカーの調達に影響を及ぼす可能性がある。

那珂工場で火災が発生
[画像のクリックで拡大表示]
那珂工場で火災が発生
300mmラインが稼働を停止した。出火原因は不明。(出所:ルネサスのWebサイト)

 2021年3月19日の午前2時47分にN3棟1階にある300mmラインの工程の一部で火災が発生。「出火現場はクリーンルーム」(ルネサス)。同日の午前8時12分ごろ消防により鎮火を確認した。用役(ユーティリテイー)設備の一部に被害が出た。同日の午後11時時点で、安全性を確認できていないためクリーンルームに入れていない。同社によると翌3月20日午前9時から警察および消防による現場検証がある。「火災の発生原因や被害の状況などは判明次第知らせる」(同社)。

那珂工場の前工程
[画像のクリックで拡大表示]
那珂工場の前工程
自動化ラインを使って300mmの半導体ウエハー上に半導体集積回路を造っている。(出所:ルネサスのWebサイト)

 直径200mmの半導体ウエハーの生産ラインであるN2棟と、ウエハーのテスト工程が入るWT棟は稼働しており、製品の出荷を継続している。火災による製造設備や仕掛かり品の被害、業績などへの影響は現時点で不明で、精査中だという。

 なお、「人的被害や工場外への有毒ガスなどの流出は出ていない」(同社)。

■変更履歴
公開当初、火災発生日に誤記がございました。「2021年2月19日の午前2時47分」としておりましたが「3月19日」です。お詫びして訂正します。本文は修正済みです。 [2021/03/22 16:20]