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 ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)の主力工場で、2021年4月21日午後に発煙事故があった。発生場所は、ルネサスの生産子会社「ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング」の那珂工場(茨城県ひたちなか市)のN3棟である。N3棟はルネサスの主力工場で、300mmウエハーを使い車載SoC/マイコンなどを生産している。

N3棟の外観(左)と21年4月17日に操業再開後の1階(右)
N3棟の外観(左)と21年4月17日に操業再開後の1階(右)
(出所:ルネサス)
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 N3棟の1階では、21年3月19日未明に30台弱の製造装置が焼損する火災が発生し、操業が停止した。火災直後から顧客や取引先、製造装置メーカーなどが手厚い支援をしたことで、N3棟は4月17日に操業を再開したばかりだった。21日の発煙事故は、そのN3棟の1階床下で、16時30分頃に発生した。1階床下にある自動搬送台車(RGV)の電源盤から煙が出た。発煙後すみやかに、社員が鎮火させたという。

 その後、消防署による現場確認、発煙元となった電源盤の保全をした上で、同日20時頃よりN3棟1階および2階にて生産を再開した。今回の発煙事故の影響は軽微で、4月19日にルネサスが発表した今後の生産や製品出荷の見通しに変更はないという。なお、今回の発煙事故による人的被害はなかった。