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 ロームは、外形寸法が2.0mm×2.0mm×1.0mmと小さいMEMS圧力センサーを発売した ニュースリース 。防水規格「IPX8」に準拠する。「IPX8に準拠したMEMS圧力センサーでは、業界最小である」(同社)。競合他社の防水MEMS圧力センサーでは、実装面積が3.0mm×3.0mmの製品が最小だった*。新製品の応用先は、測定した気圧から圧力を最適制御する炊飯器や掃除機などの白物家電のほか、スマートフォンやヘルスケア機器などの携帯型電子機器、防水が必要な産業機器、屋外で使う小型IoT機器やドローンなどである。

* 関連記事 STマイクロが防水性を備えたMEMS圧力センサー、測定範囲は260h〜1260hPa
外形寸法が2.0mm×2.0mm×1.0mmと小さいMEMS圧力センサー
外形寸法が2.0mm×2.0mm×1.0mmと小さいMEMS圧力センサー
(出所:ローム)
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 今回の新製品では、新しい内部構造を開発して、防水性を確保しながら小型化した。同社は、外形寸法が2.0mm×2.0mm×1.0mmのMEMS圧力センサーをすでに製品化している。しかし、従来品ではMEMSセンサー素子とASICを実装した樹脂基板を凹型の金属蓋(リッド)で覆う構造であり、「空気を取り込む穴が非常に小さく、そこに防水ゲルを注入できないため、防水にできなかった」(同社)。そこで新製品では、U字型のセラミック基板に変更した。U字の底に当たる部分にMEMSセンサー素子とASICを実装し、その後に防水ゲルを注入してから平型の金属板で蓋をする。この構造で、防水性の確保と小型化を両立させた。

MEMS圧力センサーの内部構造
MEMS圧力センサーの内部構造
左は同社従来品。右は新製品である。(出所:ローム)
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 新製品の型番は「BM1390GLV」。MEMSセンサー素子はピエゾ抵抗方式。ASICには、16ビットA-D変換器や温度補正演算回路、温度測定回路、FIFOメモリーなどを集積した。「独自アルゴリズムによる温度補正機能を内蔵したため、温度に対する気圧の測定誤差を当社従来品に比べて最大で1/7に抑えた。なお、温度補正演算に使う外付けマイコンは要らない」(同社)。圧力の検出結果は、I2Cインターフェースを介してデジタル形式で出力する。測定できる気圧の範囲は300h〜1300hPa。相対気圧誤差は±0.06hPa(標準値)。絶対気圧誤差は±1hPa(標準値)である。そのほかの仕様は下表の通り。

新製品の主な仕様
新製品の主な仕様
(出所:ローム)
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 すでに量産を始めている。サンプル価格は770円(税込み)である。評価ボード「BM1390GLV-EVK-001」を用意しており、インターネット通販会社を介して販売を始めた。