キヤノンが半導体露光装置の生産性を高めるオプション発売、AIで駆動を高速化

図 新オプションは工場で稼動しているKrF露光装置「FPA-6300ES6a」に適用できる (画像:キヤノン)
図 新オプションは工場で稼動しているKrF露光装置「FPA-6300ES6a」に適用できる
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