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 OEEとはoverall equipment efficiencyの略である。2004年ごろから日本の半導体メーカーは,半導体製造装置の実稼働率が実質40%弱であることに問題意識を持ち,それ以外の時間,例えばアイドリング・タイム,ダミー・ウエーハの処理時間,故障時間を減らすために,さまざまなアプローチを試みた。半導体製造装置の実稼働率が上昇すれば,製造装置を多数購入したのと同じ効果が得られるからである。

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