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2000年の時点で、MEMS市場は既に力強く成長しており、市場規模は数量ベースで年間10億個を若干上回り、金額ベースでは年間50億米ドルに達していた。2014年の段階ではMEMS市場は年間111億米ドルのビジネスにまで拡大した。Yole Developpement（以下、Yole）の予測では、2020年の時点でMEMS市場は年間200億米ドルにまで成長し、出荷数量は年間で300億個に達するであろう。

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