飛翔するMEMS,昆虫と半導体チップを接続へ

 米University of Washingtonは,昆虫と半導体チップを接続するという基本概念に基づくMEMSデバイスの開発を始めた。その最初の成果を,「MEMS2007」で披露した(1月25日のセッション12)。 (記事を読む01/29

ナノワイヤーを光のピンセットで自由に引っ張る

 米University of California, BerkeleyのBSAC(Berkekey Sensor and Actuator Center)を中心とする研究グループは,レーザー光をピンセットのように使ってSiのナノワイヤーを自由に動かしてみせた。その概要を「MEMS2007」で発表した(1月25日のセッション10)。 (記事を読む01/29

韓国LG,MEMSで特性を切り換える携帯用逆Fアンテナ

 韓国のLG Electronics Institute of Technologyは,RF MEMSスイッチで特性を切り換える携帯電話機用板状逆F型アンテナを試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(1月25日のセッション11)。 (記事を読む01/29

「MEMS2008」は米国アリゾナ州ツーソンで開催

 「MEMS2007」では,2008年に開催予定の次回「21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2008)」の開催概要が紹介された。「MEMS2008」は,2008年1月13~17日に米国アリゾナ州ツーソン(Tucson)で開催される。会場はJW Marriot Starr Pass Resort & Spaである。 (記事を読む01/25

気体用マイクロポンプを18段つなげて圧力を高める

 米University of MichiganのCenter for Wireless Integrated MicroSystems(WIMS)は,気体用マイクロポンプを直列に18段接続したMEMSデバイスを試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(1月24日のセッション9)。 (記事を読む01/25

熱容量の違いから結露点を実測する

独HSG-IMIT(Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institute for Micromachining and Information Technology)は,結露点を実測するシリコンMEMSセンサー・システムを試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(1月24日のセッション8)。 (記事を読む01/25

6mm角と小さなガイガー・カウンタを試作

米University of Michiganは,大きさが約6mm角と小さなガイガー・カウンタ(放射線検出器)を試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(発表番号:TA26)。外形寸法が小さいことと,放射線の存在を帯域幅の広い電磁波として検出できることが特徴である。(記事を読む01/25

ウイルス検出用の超小型化学反応チップを開発

台湾のNational Cheng Kung Universityは,ウイルス検出用の超小型化学反応チップを開発し,その概要を「MEMS2007」で公表した(1月23日のセッション5)。ウイルスの検出やDNA(デオキシリボ核酸)の複製などに一般的に使わている逆転写ポリメラーゼ連鎖反応(RT-PCR:Reverse Transcription Polymerase Chain Reaction)とその前処理を自動的に実行するチップである。 (記事を読む01/25

「MEMS2008」は米国アリゾナ州ツーソンで開催

「MEMS2007」では,2008年に開催予定の次回「21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2008)」の開催概要が紹介された。「MEMS2008」は,2008年1月13~17日に米国アリゾナ州ツーソン(Tucson)で開催される。会場はJW Marriot Starr Pass Resort & Spaである。 (記事を読む01/25

気体用マイクロポンプを18段つなげて圧力を高める

米University of MichiganのCenter for Wireless Integrated MicroSystems(WIMS)は,気体用マイクロポンプを直列に18段接続したMEMSデバイスを試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(1月24日のセッション9)。 (記事を読む01/25

独Bosch,SiGe犠牲層エッチの新手法を提案

独Robert Bosch GmbHは,センサーやアクチュエータなどのMEMSデバイスを形成する上で基本となる犠牲層エッチング技術の新手法を開発した。MEMS関連の国際学会「MEMS2007」において,1月23日の「セッション4」で2番目に発表した。 (記事を読む01/24

超音波で生体内のデバイスに電力を供給

台湾のNational Taiwan Universityは,超音波によって生体内のチップに電力を供給するデバイスを試作し,その概要を「MEMS2007」で発表した(発表番号:TP38)。バイオ・チップなどの生体内に埋め込んだデバイスに電力を供給し,動作させる用途を想定した研究である。超音波は生体にとって安全なので,リスクがきわめて低い。 (記事を読む01/24

スタンレーが超小型プロジェクタ向けミラー素子

スタンレー電気は,超小型プロジェクタに使えるミラー素子を新構造のアクチュエータにより開発,「MEMS2007」で発表した(発表番号:M35)。超小型プロジェクタは,携帯電話機への搭載を狙った機器であり,フルカラーのレーザー光をマイクロ・ミラーで走査して,壁などに画像を投影する。 (記事を読む01/24

早大,微小チューブをエッチャで形成

Si深掘りエッチング装置の新たな応用手法を早稲田大学が開発,「MEMS2007」で発表した(講演番号:M11)。DRIE(deep reactive ion etching)装置で掘った穴の側壁の保護膜を構造体として利用し,直径30μmで長さ100μmのチューブをSi基板上に形成した。(記事を読む01/24

デンソーがレーザー・スキャナの低コスト化技術

デンソーは,微小なプリズムやレンズなどの光学素子アレイをSi基板上に一体形成する技術を開発,「MEMS2007」で発表した(発表番号:M9)。DRIE(deep reactive ion etching)プロセスを使って,数百μm角程度の微小光学素子をアレイ状に形成する。(記事を読む01/24

人工の奥歯から経口薬を自動的に供給する

独HSG-IMIT(Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institute for Micromachining and Information Technology)は,下あごに取り付けて経口薬を自動的に供給するシステムを開発中である。「MEMS2007」で開発の最新状況を公表した(発表番号:TA19)。奥歯2本分の幅に相当する超小型モジュールを試作し,実験動物で動作を確認した。 (記事を読む01/23

人体への埋め込みを想定した目薬供給システムを試作

米University of Southern Californiaは,人体への埋め込みを想定した目薬の自動供給システムを試作し,MEMS 2007でその概要を公表した(1月22日午前のセッション2)。動物実験によって実際に動作を確認している。 (記事を読む01/23

いよいよ開催,今年は20周年

MEMS(micro electromechanical systems)に関する国際会議「20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)」が,神戸市で始まった。今回は20回目と節目となり,招待講演と催しはそれにちなんだ内容となっている。 (記事を読む01/23

独Bosch,ポリSiGeで“MEMS on CMOS”

独Robert Bosch GmbHは,CMOSプロセス形成後にMEMSプロセスを載せた1チップの加速度センサー(ジャイロスコープ)を「MEMS 2007」で発表した。22日午後の「セッション3」で最初に講演した。論文の著者には,同社のほか,スペインIMSE-CNM-CSIC,ベルギーASM,独のPhilips社,ベルギーIMECが名を連ねる。 (記事を読む01/23

日立はLSI配線工程で“MEMS on CMOS” 日立はLSI配線工程で“MEMS on CMOS”

日立製作所は,CMOS部の上に,LSIの配線プロセスで圧力センサーを形成する技術を「MEMS2007」で発表した(22日のセッション3の2番目の講演)。MEMS部にCMOS LSIの配線工程を使うことから,CMOS部にはCMOS LSIで実現可能な先端プロセスを利用できる。 (記事を読む01/23

米BSAC,SiCの真空封止技術

米University of California, BerkeleyのBerkeley Sensor and Actuator(BSAC)は,MEMS部の真空封止を低温で実現する新手法を発表した(講演番号:M-8)。この手法はSiCデバイスに適用でき,今回,SiCに適用した結果を示した。 (記事を読む01/23

自己回復する小型ヒューズの新たな用途を提案

九州工業大学工学部電気工学科の匹田政幸教授と大塚信也助教授らの研究グループは,自己回復機能を備えた小型ヒューズの新たな用途をMEMS 2007で提案した(発表番号:M31)。この小型ヒューズは過電流のほか,機械的な衝撃を与えても抵抗値が急速に高まり,オン状態からオフ状態へ遷移する。(記事を読む01/22

人工内耳キットを人体に埋め込む

米Case Western Reserve Universityと米University Hospital of Clevelandは共同で,人体に埋め込むことを想定した人工内耳キットを開発中である。MEMS 2007で,その一部を公表した(1月22日午前のセッション2)。 (記事を読む01/22

投稿論文の採択率は36%,依然として狭き門

MEMS(micro electromechanical systems)に関する国際会議(「20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)」)が,兵庫県神戸市の神戸ポートピアホールで始まった。学術講演に先だって開かれたオープニング・セッションではMEMS 2007の開催概要が紹介された。 (記事を読む01/22

「MEMS 2007」,神戸で1月21日に開催

MEMSに関する国際会議「20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)」が,2007年1月21~25日に兵庫県神戸市の神戸ポートピアホールで開催される。最先端のMEMSデバイスとその関連技術に関する最新の研究成果が披露される予定である。 (記事を読む01/19