【マイクロマシン展】MEMSで波長可変とした通信用レーザー発光デバイス

 横河電機は,面発光型レーザー(VCSEL)の波長をMEMS構造によって変化できるようにする技術を開発,「マイクロマシン/MEMS展」でパネル展示した。InPによるVCSELチップと,波長可変用のMEMS部を集積したSiチップを,Auバンプ接合技術に…(記事を読む07/30 19:22

【マイクロマシン展】メタル膜をインクジェットで常温形成

 産業技術総合研究所は,Agなどのメタル膜を常温で形成できる技術を開発,「マイクロマシン/MEMS展」でパネル展示した。Agインクをインクジェット技術で対象物に衝突させて,その部分に成膜する。例えば曲面の筐体に電気配線やアンテナを形成することができる…(記事を読む07/30 19:20

【マイクロマシン展】レーザー・ダイシングをGaAs,SiC,サファイア,ガラスにも

 浜松ホトニクスは,Siウエーハのレーザー・ダイシング技術を,Si以外のさまざまな材料に適用できるように展開していく。同社は,マイクロマシン展で,その開発計画を示すパネルを展示した。(記事を読む07/30 19:16

【マイクロマシン展】日本信号がSVGAのカラー・モバイル・プロジェクタ《訂正あり》

 日本信号は,SVGA(800×600画素)のカラー・モバイル・プロジェクタを試作,「マイクロマシン/MEMS展」に出展した。3原色のカラー・レーザー光源をMEMSスキャナで走査してカラー画像を表示する。(記事を読む07/30 18:37

【マイクロマシン展】レーザー光でポンプ駆動,3次元積層などの講演が

 「マイクロマシン/MEMS展」初日の25日,セミナーの「マイクロナノ2007 MEMSフォーラム」が会場内の特設ブースで催された。「MEMS産業基盤強化」,「産学連携」,「国際交流」,「調査報告」の四つのセッションがあった。(記事を読む07/30 18:28

【マイクロマシン展】来場者数が過去最高の1万2000人超に

2007年7月25日に始まった「マイクロマシン/MEMS展」が27日に閉幕した。来場者数は1万2424人と過去最高を記録した。(記事を読む07/30 18:27

【マイクロマシン展】三菱電機,航空機用エンジンに採用の表面処理技術を出展

 三菱電機は,同社の放電表面処理装置「MSCoating」がIHI製の航空機用エンジン「CF34」に採用されたと発表した。IHIでは同技術を,順次導入するという。2007年7月27日まで開催の「第18回マイクロマシン/MEMS展」(東京ビッグサイト)…(記事を読む07/26 18:05

【マイクロマシン展】ジャイロと加速度の複合センサ,トキメックがサンプル出荷へ

トキメックは,ジャイロと加速度の複合センサの評価キットを「第18回マイクロマシン/MEMS展」(2007年7月25~27日に東京ビッグサイトで開催)に出展した。同社は従来からMEMS技術で構成した複合センサを手掛けているが,ユーザーに提供可能な評価キ…(記事を読む07/26 14:42

【マイクロマシン展】213nmの深紫外レーザで出力10W,微細加工用途を視野

 三菱電機は,波長213nmで出力10mWの固体レーザを「第18回マイクロマシン/MEMS展」(2007年7月25~27日に東京ビッグサイトで開催)に出展した。同社は開発品を2007年2月に報道機関向けには公開しているが,一般公開は今回が初めて。「2…(記事を読む07/26 14:38

【マイクロマシン展】HOYA CANDEO OPTRONICSがしなるガラスを参考出展【動画で紹介】《訂正あり》

 HOYAは,2007年7月25~27日に東京ビッグサイトで開催している「第18回マイクロマシン/MEMS展」において,しなるガラスを参考出展した。展示ブースでは,ガラスを繰り返ししならせる実演を披露した。(記事を読む07/25 19:15

【マイクロマシン展】オムロンが1213サイズのSi MEMSマイク発表,感度は-40dBV【訂正あり】

オムロンは,世界最小という外形寸法1.2mm×1.3mm×0.4mmのSi製MEMSマイクロフォン・チップを開発,サンプルを発売した。既存のエレクレット・コンデンサ・マイクロフォン(ECM)に比べ熱に強い。同社は,このMEMSマイクを使用した試作モジ…(記事を読む07/24 17:30

【マイクロマシン展】たんぱく質解析などに向けたマイクロ流路チップ,大日本印刷らが開発

 大日本印刷は,MEMS技術を応用したマイクロ流路チップを東京大学 准教授である竹内昌治氏の研究グループと共同開発した。Si基材上に微細な流路とくぼみのパターンを形成したものである。たんぱく質の機能解析や創薬などに利用できる。今回の開発を受けて,大日…(記事を読む07/24 13:23

日立ツール,L/D=100の微細深穴加工用にドリルを発売

 日立ツール(本社東京)は,微細深穴加工用のドリルを2007年秋に発売する。刃の形状を工夫することで,L/D(加工深さ/穴径)=100の深穴加工を実現。そのため,従来は放電加工でも難しかった領域に切削加工で対応できる。(記事を読む07/23 17:46

スター精密,“世界最小径”のねじを冷間圧造で試作

 スター精密は,直径が0.3mmで高さが約0.8mmのねじを試作した。現在,市場に流通しているねじでは,直径0.4mmのものが世界最小径とされており,このねじは「世界最小径」(同社)という。(記事を読む07/19 15:30

「斜めパッケージに封止」,カーナビ向け加速度センサを三菱電機が発売

 三菱電機は,10度の傾斜角度を持ったパッケージに封止した加速度センサ「MAS1912P」を発売した。ダッシュボード内に設置するインダッシュ型のカーナビに向けた。傾斜角度を持った樹脂モールドのパッケージの製品化は,今回が初めてという。(記事を読む06/27 19:30