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 米Stanford UniversityのKenny先生はドイツRobert Bosch社と共同で、最近、米SiTime社のSiタイミング・レゾネータに用いられている“Epi Seal”技術を様々なデバイスに適用しています。「IEEE MEMS2013」の速報では同技術を用いた圧力センサやジャイロを紹介しました。「TRANSDUCERS 2013」の初日にも、“Epi Seal”技術を用いた加速度センサに関する2件の発表がありました(論文番号:M4A.002、M4A.005)。“

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