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半導体メーカーの発表で「90nmルール」や「90nm世代」といった言葉が使われる。実際にどの部分が90nmになっているのだろうか。電子情報技術産業協会（JEITA）の半導体技術ロードマップ専門委員会（STRJ）で設計タスクフォースの専門委員を務める富士通の浅田氏に解説してもらう。 （河合　基伸＝本誌）

浅田　善己
電子情報技術産業協会
半導体技術ロードマップ専門委員会　設計タスクフォース専門委員

　「45nmプロセス技術を採用した完全動作する半導体チップを開発」「45nm世代に対応するシステムLSIプロセス技術を共同開発」「プロセスルール65nmのLSIにおいて消費電力を削減するトランジスタ技術を開発」——。

　半導体メーカー各社のニュース・リリースを見ると，半導体技術の世代を表す指標として，さまざまな呼び方があるのが分かる。上記で挙げた例のほかにも，「ノード」や「設計ルール」などと呼ぶ場合もある。ニュース・リリースだけでなく学会発表などでも用いられている「90nmルール」や「90nm世代」といった表現の「90nm」とは，どのように定義され，具体的にLSIのどの部分を指しているのか。こうした疑問を抱いている読者も多いのではないだろうか。