地球環境問題への意識の高まりを背景に，『グリーン・ファブ（Green Fab）』（温暖化ガスや環境汚染物質の排出量を抑えた，環境配慮型工場への取り組み）が活発化している。世界半導体会議（WSC：World Semiconductor Council）は，2010年までに7種類のガスの排出量を1995年比で10％以上減らす目標を掲げており，半導体メーカー各社は，半導体工場からの温暖化ガス排出量の削減に努めている。
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