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 地球環境問題への意識の高まりを背景に,『グリーン・ファブ(Green Fab)』(温暖化ガスや環境汚染物質の排出量を抑えた,環境配慮型工場への取り組み)が活発化している。世界半導体会議(WSC:World Semiconductor Council)は,2010年までに7種類のガスの排出量を1995年比で10%以上減らす目標を掲げており,半導体メーカー各社は,半導体工場からの温暖化ガス排出量の削減に努めている。

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