Siを使った角速度センサー（ジャイロスコープ）を民生機器向けに量産投入している米InvenSense Inc.が，その製造プロセスの詳細を明らかにした。低コスト化の中核となるMEMS部の密閉手法に独自技術を採用している。これによって，通常のCMOS LSIに使っている安価な樹脂パッケージが使えるようになった。デバイス単価が1米ドル以下が採用の目安になる民生機器向け市場の要求に応えられるとする。従来は，セラミックや金属によるパッケージを使っていたため，MEMS技術を使っても単価は10米ドルだった。
この記事は会員登録で続きをご覧いただけます
-
会員の方はこちら
ログイン -
登録するとマイページが使えます
今すぐ会員登録（無料）
日経クロステック登録会員になると…
・新着が分かるメールマガジンが届く
・キーワード登録、連載フォローが便利
さらに、有料会員に申し込むとすべての記事が読み放題に！
「初割」2/7締切迫る！
＞＞詳しくは
日経クロステックからのお薦め
「デジタル＆ソリューション」をキーワードに、多様な事業を展開しています。
日経BPは、デジタル部門や編集職、営業職・販売職でキャリア採用を実施しています。デジタル部門では、データ活用、Webシステムの開発・運用、決済システムのエンジニアを募集中。詳細は下のリンクからご覧下さい。
