MEMSとLSIの製造技術を融合させる。そのようなMEMS研究の方向性が2008年6月に開催したアジア地域主体のMEMS関連学会「Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology 2008(APCOT 2008)」から見えてきた。アジアには,台湾,韓国,日本,中国と,世界の半導体メーカーが集まる。これらアジア勢が,MEMS需要の高まる時代にも半導体製造で支配的な座を維持しようとする意向を,研究者が先取りした結果である。
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