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 MEMSファウンドリの活用における失敗事例をカナダMicralyne Inc.の経験から紹介する。同社には,20年以上にわたってMEMSデバイスを生産してきた。その経験から,デバイス・メーカーが陥ることの多い失敗事例をいくつかのパターンに分類して解説する。こうした失敗事例は,LSI向けのSiファウンドリで生じるものとは大きく異なる。MEMSファウンドリの効果的な活用方法の指針となる。

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