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 7月29日~8月1日に東京で開催されたMEMS分野で最大の展示会「マイクロマシン/MEMS展」では,MEMS装置メーカーが,手持ちの製品や技術を新規分野に展開しようとする動きが目立った。既存の事業領域のMEMSデバイスや3次元LSI分野に加え,光学レンズ,パワー半導体,LEDなどへの利用を想定している。

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