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 過去30年以上にわたってLSIを支えてきたプレーナ型MOS FET(プレーナFET)が,いよいよ終焉を迎える。早ければ,2011年に量産が始まる22nm世代から,チャネルを立体化したフィンFETなどの非プレーナFETの出番となる。プレーナFETを22nm世代へ延命できたとしても,2013年に量産が始まる16nm世代からは非プレーナFETに移行する。2008年12月の「2008 IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)」では,こうした技術進化の方向を示す成果が相次いだ。