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 3軸加速度と3軸角速度の6軸を1チップで検出できるMEMSセンサーを米国のベンチャ企業が開発した。このセンサーは,一つの重りだけで加速度と角速度を検知できるためチップ面積を縮小して低コスト化しやすい。まずは5軸品(3軸加速度と2軸角速度)を2009年第4四半期~2010年第1四半期に製品化する。自動車の横滑り防止用のESC(electronic stability control)システムで使われている既存センサーの置き換えを狙う。今回,このデバイスのプロセス開発者が,その原理と製造技術の詳細を明らかにした。