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詳報
TOTOが加熱せずにイットリア膜作製
耐プラズマ性能は石英の50倍を実現

エッチングやCVDなど半導体関連装置部材への適用狙う

 TOTOが,エッチング装置の窓材などに適用できるイットリア(Y2O3)膜を作製した。耐プラズマ試験を実施し浸食深さを測定したところ,ざっと石英の1/50,サファイアの1/5とごくわずか。それ故,試験後も図1の写真右のように優れた透光性を維持した。

 この試験は,半導体製造におけるエッチングやCVD(化学蒸着法)といった装置に使う構成部材への適用を想定したもの。中でも特に厳しい環境にさらされるのが,腐食性の高いフッ素系ガスを導入しプラズマを発生させるチャンバ。このプラズマに強い材料として石英やサファイア,高純度アルミナ(Al2O3)などが利用されているが,必ずしも特性的に十分満足なレベルに達しているというわけではない。

 そこで今,関係者の注目を集めるのが,絶縁性がある,純度が高い,プラズマに強いと三拍子そろったイットリア。特性は申し分ないが,難点が一つある。焼結しにくい点だ。