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LSIの微細化により見つけにくい欠陥が増えることで,LSIメーカーの検査コストの負担は大きいものとなってしまう。一方で,検査装置を駆使し歩留まりの向上につなげられれば,検査は製造に付加価値を与える“強み”にもなりうる。検査の価値を高めるために装置メーカーはどのような戦略をとるのか,業界のけん引役である米KLA-Tencor Corp.の最高責任者に聞いた。

米KLA-Tencor Corp. President & Chief Executive Officer Kenneth L. Schroeder 氏