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 LSIの露光分野で新たな材料が出てきた。液浸ArF露光向けの“高屈折率液体”である。12月の「セミコン・ジャパン2004」に登場し,多くの露光技術者が「こんなに早く実現するとは思わなかった」と驚きの声を上げた。高屈折率液体とは,屈折率が純水(1.44)よりも高い液体を指す。通常,液浸露光ではレンズとウエーハの間に純水を入れて解像度や焦点深度を改善させるが,高屈折率液体を使えば,さらに改善できる。