PR
 北米におけるMEMS(micro electro mechanical systems)ビジネスは,1980年代初めにSi圧力センサーで始まった。現在ではさまざまなアプリケーションに広がっている。

 代表例として,米Texas Instruments, Inc.(TI)のプロジェクタ用「DMD(Digital Micromirror Devices)」,米GE Novasensor社 のTPMS(tire pressure monitoring system),米Freescale Semiconductor Corp. の圧力センサーと加速度センサー,米Analog Devices Inc.の加速度センサーがある。製造ラインを持つセット・メーカーでは,インクジェット・ヘッドを開発している米Hewlett-Packard Co.や米Lexmark International, Inc.,自動車向けの圧力センサーと加速度センサーの米Delphi Corp.,高性能センサーの米ENDEVCO Corp.や米Honeywell International Inc.などがある。