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アプライド マテリアルズ ジャパンの渡辺徹氏 
アプライド マテリアルズ ジャパンの渡辺徹氏 
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 米Fairchild Semiconductor社や米Intel社の創業メンバーで、「ムーアの法則(Moore's Law)」の生みの親として知られるGordon Moore氏。同氏がムーアの法則の起源となる論文を米技術誌に発表したのは1965年4月19日(関連記事1)。ちょうど50年前だ。

 電子回路の集積度が2年(または1.5年)で2倍に高まるというこの経験則を、長年にわたって維持する原動力となったのが、半導体素子の微細化という手法である。だが昨今、その難度は高まり、膨大な設備投資が必要なこともあって、追従できる半導体メーカーは激減。微細化がいち早く進んだNANDフラッシュメモリーやDRAMでは、微細化の終焉が間近だ。

 “縁の下の力持ち”として、微細化を支え続けてきたのが半導体製造装置メーカーである。微細化は今、どのような状況にあるのか。微細化終焉後を支える技術とは何か。業界大手、米Applied Materials社日本法人のアプライド マテリアルズ ジャパン 代表取締役社長を務める渡辺徹氏に聞いた。

(聞き手は大下 淳一=日経BP半導体リサーチ)