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 福田結晶技術研究所は、高品質な、口径50mm(2インチ)のスカンジウム・アルミニウム・マグネシウム・オキサイド(ScAlMgO4、通称:SCAM(スキャム))結晶の開発に成功した(図1)。青色LED素子や青紫色半導体レーザーダイオード(LD)といったGaN系発光素子の基板での利用を想定している。

図1 口径2インチのSCAM結晶を開発
図1 口径2インチのSCAM結晶を開発
福田結晶技術研究所と東北大学の研究グループは、口径約50mm(2インチ)のSCAM結晶を開発した(a)。へき開によって結晶からウエハー(基板)を作製できる(b)。(写真:同研究グループ)
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