PR
原料を超音波で霧化した状態
原料を超音波で霧化した状態
[画像のクリックで拡大表示]

　「太陽電池の変換効率が最大で1割ほど高まった」─。東芝三菱電機産業システムは、原料を霧状にして薄膜を形成するミストCVD（化学気相成長）装置「TMmist」を開発した。非真空プロセスであり、プラズマを用いないことから、装置の設置面積や初期投資額の低減、下地の膜の特性向上などが期待できるとする。東芝三菱電機産業システムは、太陽電池の透明導電膜の形成などに向けて、2014年度に約10億円、2015年度に約20億円の受注を狙う。