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産業技術総合研究所は、カーボンナノチューブ（CNT）を電極に利用した「CNT集積化マイクロキャパシター（IEDC）」を開発した注1）。IEDCはICに近い工程でSiウエハー上に製造する薄型の電気2重層コンデンサー（EDLC）である。

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