産業技術総合研究所は「つくばセンター・つくば東」に建設中であった「MEMSビジネス棟」が竣工致したことを発表した。

 この施設は,産総研のMEMSに関わる研究と技術シーズを産業界の技術やニーズに連携させ,MEMS分野における産学官の頭脳結集や連携強化,人材育成を促すための施設。MEMS研究開発の中心拠点のひとつとして積極的に運用していく。

 主な設備は,ナノ領域の加工ツールである「 高加速電圧電子線描画装置 」,段差などを有する構造上に高い精度でパターンを描画する「 MEMS専用長焦点深度ステッパ 」,MEMSで多用される「 高アスペクト比ICPエッチング装置 」,ナノ構造を工業的に安価に製造する「 ナノインプリント装置 」など。これらに加え,通常,MEMSで用いられる「 加工装置群 」「 計測装置群 」もオールインワンで使用できる環境を整えて産業界の研究開発ニーズに応えていくという。

 産総研ではMEMS技術を利用した様々なセンサやアクチュエータを開発することにより,光通信・モバイル機器への応用,計算機の周辺機器への応用,更にバイオ分析や携帯用電源への応用へと展開する方針。これまで独自に培ってきたガラスやカーボンの「3次元微細加工技術 」,センサやアクチュエータに用いられる「 高機能薄膜材料技術 」を駆使して,次世代のデバイス開発を手がけていく方針だ。

 主な開発テーマとしては,次世代の高周波通信で用いられる「RF-MEMS」,光通信,情報提示素子用の「光MEMS 」,バイオ分析で用いられる「流体MEMS」を挙げている。(西村 勝彦)

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つくばセンターのMEMSビジネス棟
つくばセンターのMEMSビジネス棟