日本精工は,真空中やガス雰囲気中など特殊環境下でも回転位置決めができるユニット「特殊環境用ダイレクトドライブモーター」を開発した(図)。ちりやガスの発生が少ない軸受に,ダイレクトドライブモータを組み合わせた構造。ロータの位置を検出することで,高精度な回転位置決めができる機構を組み込んだ。
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