米Analog Devices, Inc.が,加速度センサーをCMOS回路と混載できるようにMEMSプロセス技術を変更している。これまで同社の「iMEMS」技術では,加速度センサーなどのMEMS部をバイ-CMOS回路と混載してきたが,CMOS回路との混載はできなかった。ここへ来てCMOS回路との混載を可能とするプロセス技術の導入に踏み切った。
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