加速度センサーや地磁気センサーなど,カメラ以外のセンサーを携帯電話機に載せる試みを携帯電話機メーカーが始めている。今は試行錯誤の段階と言えるが,2010年までには多種多様のセンサーが標準的に載る可能性が高い。そこでは,MEMS(micro electro mechanical systems)技術を使ったセンサーを,CMOS回路と低コストに融合する技術が,デバイス・メーカーの競争力を左右する。そうした融合技術の事例として,MEMSセンサーのワン・パッケージ化とオン・チップ化に向けた最新技術を紹介する。
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