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 日本真空工業会は5月10日,2005年第1四半期の真空機器の受注・売り上げ統計を発表した。受注高は前期比14%増の1591億円,売上高は同24%増の1773億円といずれも2004年第3四半期並みの高い水準となった。台湾や韓国の液晶パネル・メーカーからのTFT製造用真空成膜装置の需要が旺盛だったことが好調の大きな要因となった。

 真空機器の2004年の年間売り上げの内訳は,半導体関係が49%,FPD(フラットパネル・ディスプレイ)関係が25%,電子部品関係が8%,以下それぞれ数%ずつである。このうち半導体関係は目立った動きがなく,FPD関連の伸びが大きかった。電子部品関係は全体に占める割合は小さいものの,小型HDD(ハード・ディスク駆動装置)向けヘッドや,携帯電話機向け光学部品などの伸び率は大きいという。第2四半期以降は,受注,売り上げともに横ばいとなり,年間では2004年より若干低い水準になるとの予測を示している。