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 45nmノード(hp65)向けアニール技術の本命は,FLA(flash lamp annealing)かLSA(laser spike annealing)か。最終的な結論は出ていないものの,現状ではLSAに軍配が上がるとの報告を,東芝が「2005 Symposium on VLSI Technology」で発表した(講演番号8B-3)。

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