45nmノード（hp65）向けアニール技術の本命は，FLA（flash lamp annealing）かLSA（laser spike annealing）か。最終的な結論は出ていないものの，現状ではLSAに軍配が上がるとの報告を，東芝が「2005 Symposium on VLSI Technology」で発表した（講演番号8B-3）。
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