「2005 Symposium on VLSI Technology」の特徴の一つは,FinFET等のいわゆる「ノンクラシカルCMOS」のセッションが四つ(計16件)も組まれたことである。内訳は,FinFET(Triple-gateを含む)が8件,Geチャネルが2件,(110)基板SOIチャネルが2件,ショットキ・ソース/ドレインMOSFETが1件などである。世界的に新構造トランジスタ等の研究開発が進んでいることを示している。
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