「2005 Symposium on VLSI Technology」のSession 11A「Advance FinFET Technology」は，FinFET関連の2番目のセッションであった。FinFETと埋め込みSiGeソース・ドレインの組み合わせや，マルチチャネルFinFETによるSRAMなど，極めて高度なFinFETデバイス・プロセス技術が発表された。
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