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 島津製作所は,「卓上型」と呼ばれる小型のCT装置「SMX-90CTS」を「第16回 設計・製造ソリューション展」に参考出品した。同社が卓上型のCT装置を開発するのは今回が初めて。従来品に比べて,本体の大きさは数分の1という。ただし,検査可能な対象物の大きさは最大でも直径160mm,高さ100mmと小さい。焦点径が数μmと小さいX線源を用いる。大型のCT装置と同様に,取り込んだ断層画像から3次元のCADデータに変換するソフトウエア「CT-Solver」を組み合わせる。ICや各種スイッチ,LEDといった電子部品や樹脂成形品などの非破壊検査に向ける。チップのワイヤ・ボンディングの状態,ハンダ・ボールの接合状態などを観察し,設計データと観察結果を比較できる。CT装置,ソフトウエアのいずれも発売日や価格は未定である。

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