ニコンは，液浸技術を導入したArF露光装置「NSR-S609B」の販売を2005年第4四半期に開始すると発表した（リリース）。開口数（NA）は，オランダASM Lithography社（ASML）が2004年に評価向けにリリースした液浸ArF露光装置「XT:1250i」の0.85をしのぐ1.07。量産向け露光装置として初めてNA1.0の壁を超える。
この記事は会員登録で続きをご覧いただけます
-
会員の方はこちら
ログイン -
登録するとマイページが使えます
今すぐ会員登録（無料）
日経クロステック登録会員になると…
・新着が分かるメールマガジンが届く
・キーワード登録、連載フォローが便利
さらに、有料会員に申し込むとすべての記事が読み放題に！
【SE応援割開始】月額プランは8月末まで無料
＞＞詳しくは
日経クロステックからのお薦め
「デジタル＆ソリューション」をキーワードに、多様な事業を展開しています。
日経BPは、デジタル部門や編集職、営業職・販売職でキャリア採用を実施しています。デジタル部門では、データ活用、Webシステムの開発・運用、決済システムのエンジニアを募集中。詳細は下のリンクからご覧下さい。
