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 エスアイアイ・ナノテクノロジー(本社千葉市)は,走査型プローブ顕微鏡システムを制御するプローブステーション「NanoNavi」を2005年8月1日に発売する(図1)。観察する対象の表面に深い溝やせまい溝があっても高精度で測定できるようにし,微小計測や微小加工の領域での精度を高めた。同社製の多種のユニットを制御できる。価格は850万円から。

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