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三菱電機は,出力を412Wと同社従来品の2倍に高めた固体緑色レーザを開発した。液晶パネルや有機ELパネル用の低温多結晶Si(p-Si)を製造する「レーザ・アニール工程」に向ける。レーザ出力を高めたことで,アニール工程に要する時間を従来の1/2に短縮できる。これにより,1台10億円弱とされるアニール装置の生産能力を高める,もしくは生産能力当たりの設備投資費を抑える,といった効果が見込める。今後同社は,2年~3年に渡る信頼性試験を経た後,実用化時期を判断する。

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